万用表

泰克Keithley 2400 SourceMeter SMU 仪器

泰克Keithley 2400 SourceMeter SMU 仪器Keithley 2400 系列 SMU 仪器提供四象限精密电压和电流源/负载,外加触摸屏用户界面上的测量。 这些仪器可同时提供 10 fA - 10 A 脉冲电流和/或 100nV - 200V 电压、1000W 脉冲和 100W 直流总功率的源和测量。吉时利数字源表系列专用于要求紧密结合源和测量 的测试应用。全部数字源表型号都

  • 售后服务:
  • 硬盘容量:
  • 内存容量:
  • 型号: 2401&2450&2400&2460&2420&2410&2461&2470&2440

泰克Keithley 2400 SourceMeter SMU 仪器

Keithley 2400 系列 SMU 仪器提供四象限精密电压和电流源/负载,外加触摸屏用户界面上的测量。 这些仪器可同时提供 10 fA - 10 A 脉冲电流和/或 100nV - 200V 电压、1000W 脉冲和 100W 直流总功率的源和测量。

吉时利数字源表系列专用于要求紧密结合源和测量 的测试应用。全部数字源表型号都提供精密电压源和电 流源以及测量功能。每款数字源表既是高度稳定的直流 电源也是真仪器级的6位半万用表。此电源的特性包括 低噪声、精密和回读。此万用表的功能包括可重复性高 和低噪声。最终形成了紧凑、单通道、直流参数测试仪。 在工作时,这些仪器能用作电压源、电流源、电压表、电 流表和欧姆表。通信、半导体、计算机、汽车和医疗行业 的组件和模块制造商会发现吉时利数字源表是适于特 性分析和生产测试等广泛应用的重要源表。

主要特性:

  • 集5台仪器的功能于一体(IV源、IVR 测量)

  • 6种模式:20W~100W直流、1000W脉冲、1100V至1μV、10A至10pA

  • 源和阱(4象限)工作

  • 0.012%基础测量精度(6位半分辨率)

  • 2线、4线和6线远程电压源和测量感测

  • 1700读数/秒(4位半分辨率),通过GPIB

  • 通过/失效比较器用于快速排序/分选

  • 提供高速感测线接触检查功能

  • 可编程DIO端口用于自动化/处理程序/探针控制

  • 标准SCPI GPIB、RS232和吉时利触发链路接口

  • 吉时利LabTracer 2.0版I-V曲线跟踪应用软件(下载)

典型应用

设备:

  • 分立半导体器件

  • 无源器件

  • 瞬变抑制器件

  • IC、RFIC、MMIC

  • 激光二极管、激光二极管模块、LED、光检测器

  • 电路保护器件:TVS、MOV、保险丝等

  • 气袋

  • 连接器、开关、继电器

测试:

  • 漏电

  • 低电压/电阻

  • LIV

  • IDDQ

  • I-V特性分析

  • 隔离和印制线电阻

  • 温度系数

  • 正向电压、反向击穿、漏电流

  • 直流参数测试

  • 直流电源

  • HIPOT

  • 绝缘耐压测试序列举例

紧凑集成仪器的优点

通过在单台装置中连接源和测量电路,这些仪器能 提供多种优于单独的源和测量仪器构建的系统。例如, 它们极大地缩短了测试站开发,建立和维护所需的时 间,同时降低了购买系统的整体成本。通过去除与使用 多台仪器相关的复杂同步和连接问题,它们简化了测试 过程本身。而且,紧凑的半机架尺寸节省了测试架或测试台的宝贵“空间”。

集5种仪器功能于一体(IV源、IVR测量)

源测量仪器的精密耦合特点相对分立仪器具有许多优点。例如,它具有更短的测试时 间,通过减少GPIB的流量并简化了远程编程接口。它还保护被测设备在偶尔过载、热失控 等情况下不被损坏。电流源和电压源都可设置回读使器件测量完整性最大化。如果回读 达到可编程容限的极限,那么该源就被钳位在此极限,从而提供错误保护。

I-V特性分析

所有数字源表均提供4象限工作。工作在第1和第3象限时,作为电源向负载输出 功率。工作在第2和第4象限时,作为阱(负载)吸收能量。在源或阱工作期间都能测 量电压、电流和电阻。

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自动化以提高速度

吉时利数字源表提高了生产测试的效率。它 能在提供电压源或电流源的同时进行测量,无需 更改连接,因此适合于在不间断生产环境中可靠 地工作。为了提供生产应用所需的吞吐率要求, 数字源表具有许多内建功能因而能运行复杂的 测试序列,无需速度较低的计算机控制或GPIB通 信。

标准扫描和定制扫描

扫描方案采用自动化钩子(hook)极大加快 了测试。三种基本扫描波形可设置为单事件或连 续工作,因而非常适于I/V、I/R、V/L和V/R特性分 析。

  • -线性阶梯扫描:从起始电平到终止电平使用相等的线性步长

  • -对数阶梯扫描:按照每十个单位指定的步数按对数量比例进行扫描

  • -定制扫描:通过指定测量点的数量和每个点的输出电平,支持设立专用扫描

  • -达1700读数/秒(4位半分辨率),至GPIB总线

  • -5000个读数可以存储在非易失缓冲存储器中

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内建测试定序仪(源存储器列表)

源存储器列表提供了更快捷、更方便的测试,您能设置和执行多达100种不同的测试并 能实现无PC干预的运行。

  • -存储多达100种仪器配置,每种均包含源设置、测量设置、通过/失效标准等。

  • -通过/失效极限测试速度达500μs/测试点

  • -板上比较器消除了当发送数据至计算机分析时产生的延迟

  • -内建、用户定义的数学函数用于计算推导参数

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测试

通过/失效测试

如果测试通过

如果测试失败

测试 1

检查VF1在100mA的通过/失效界限

转到测试2

1. 将器件归为不合格
2. 当处理程序在放置新器件时,将数据发送至计算机
3. 返回测试1

测试 2

检查VF2在1A的通过/失效界限

转到测试3

测试 3

检查在-500V的漏电流并测试通过/失效界限

1. 将器件归为合格
2. 当处理程序放置新器件时,将读数发送至计算机
3. 返回测试1

数字I/O接口

数字I/O接口能将数字源表连接至许多流行的组件处理程序,包 括Aetrium、Aeco和Robotronics。此接口的其它功能包括:

  • 紧凑的系统集成用于分选和排序等应用

  • 内建组件处理程序接口

  • 测试开始和测试结束信号

  • 5V、300mA电源

  • 可选扩展器附件(2499-DIGIO型)增加16条数字I/O线

触发链路接口

全部数字源表都包含吉时利专有的触发链路接口,能与许多吉 时利许多其它仪器建立高速、无缝的通信。例如,使用触发链路接口 连接数字源表和7000系列开关系统以实现完整的多点测试方案。在 独立于计算机和GPIB的高速测试序列过程中,通过触发链路,7000系 列开关系统可被数字源表控制。

可选接触检查功能

在自动测试序列开始之前,接触检查功能可以快捷、容易地验 证是否连接良好。这消除了由于接触疲劳、破损、玷污、松动或连接 中断、继电器故障等产生的测量误差和不真实的产品缺陷。此功能 的一些性能如下:

  • 350μs验证和通知处理时间

  • 数字源表的输出在出错之后自动关闭并且直至确认接触良好后再 激活,进而保护被测器件不被损坏并保护控制器不受潜在的安全 性威胁。

  • 3个通过/失效阈值:2Ω、15Ω和50Ω

  • 在工作过程中,没有能量通过被测器件

  • 从前面板使能或远程通过GPIB使能

  • 3种故障通知方法

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6线欧姆电路。因为大电流防护使R2两端电压为0V,所以全部测试电流通过R1。

独有的6线电阻测量方法

数字源表能进行标准4线、分裂Kelvin以及6线、带防护的电阻测 量并且能配置为恒流或恒压方法。6线测量方法:

  • 除了4线感测和源测试线之外,还使用防护和防护感测线。

  • 锁定并行电流路径,当测量电阻排或混合电路隔离被测元件时

  • 允许用户用2400系列源表简捷地配置和绘制数据,从而能轻易实 现两台、三台和四台终端器件的特性分析

电压精度(本地或远端感测)

型号

量程

设置分辨率

电源 1

准确度 (1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压)

缺省测量分辨率

测量 2, 3, 4 准确度 (1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压)

输出转换速率 (±30%)

源/阱极限

2400, 2401

200.000 mV

5 µV

0.02% + 600 µV

1 µV

0.012% + 300 µV


±21 V @ ±1.05 A

±210 V @ ±105 mA*

2.00000 V

50 µV

0.02% + 600 µV

10 µV

0.012% + 300 µV


20.0000 V

500 µV

0.02% + 2.4 mV

100 µV

0.015% + 1.5 mV

0.08 V/µs

200.000 V*

5 mV

0.02% + 24 mV

1 mV

0.015% + 10 mV

0.5 V/µs

2410

200.000 mV

5 µV

0.02% + 600 µV

1 µV

0.012% + 300 µV


±21 V @ ±1.05 A

±1100 V @ ±21 mA

2.00000 V

50 µV

0.02% + 600 µV

10 µV

0.012% + 300 µV


20.0000 V

500 µV

0.02% + 2.4 mV

100 µV

0.015% + 1 mV

0.15 V/µs

1000.00 V

50 mV

0.02% + 100 mV

10 mV

0.015% + 50 mV

0.5 V/µs

2420

200.000 mV

5 µV

0.02% + 600 µV

1 µV

0.012% + 300 µV


±21 V @ ±3.15 A

±63 V @ ±1.05 A

2.00000 V

50 µV

0.02% + 600 µV

10 µV

0.012% + 300 µV


20.0000 V

500 µV

0.02% + 2.4 mV

100 µV

0.015% + 1 mV

0.08 V/µs

60.0000 V

1.5 mV

0.02% + 7.2 mV

1 mV

0.015% + 3 mV

0.14 V/µs

2440

200.000 mV

5 µV

0.02% + 600 µV

1 µV

0.012% + 300 µV


±10.5 V @ ±5.25 A

±42 V @ ±1.05 A

2.00000 V

50 µV

0.02% + 600 µV

10 µV

0.012% + 300 µV


10.0000 V

500 µV

0.02% + 1.2 mV

100 µV

0.015% + 750 µV

0.08 V/µs

40.0000 V

5 mV

0.02% + 4.8 mV

1 mV

0.015% + 3 mV

0.25 V/µs

*Not available on 2401.

NOTES

  1. 温度系数(0°C ~18°C & 28°C ~50°C):±(0.15×规定的准确度)/°C。

  2. 电压调整率:线路调整率:量程的0.01%。负载调整率:量程的0.01%+ 100μV。

  3. 过压保护:用户可选值,5%允许误差。工厂缺省=none。

  4. 电流极限/钳位:双极性电流极限(嵌位)设为一个值。量程的0.1%(最小值)。

  5. 过冲:典型值<0.1%(满量程步长,电阻性负载,10mA量程)。

源指标附加说明(适用所有型号)

瞬时响应时间:当负载发生阶跃变化时,输出信号恢复到规定值的时间 为30μs(最低要求)。
命令处理时间:接收到:SOURce:VOLTage|CURRent命令后,输出端开始变化所需的最长时间。自动量程开:10ms。自动量程关:7ms。
输出稳定时间:命令处理和输出转换之后,达到最终值0.1%的所需时间。100μs(典型值)。阻性负载。10μA至100mA量程。
直流浮地电压:输出端可以从机壳地电平上浮至±250VDC(2440型为±40VDC)。
远端感测:每条负载线的压降达1V。
嵌制准确度:在基本指标上量程增加0.3%并且读数增加±0.02%。
过温保护:如果内部检测到温度过载就将部件置为待机模式。
量程变化过冲:过冲至全阻性100kΩ负载,10Hz~1MHz带宽,相邻
量程:100mV(典型值),除了20V/200V(20V/60V,对于2420),20V/100V对于2425和2430,量程边界和和2440。
最小嵌位值:量程的0.1%。

附加脉冲模式源指标(仅对2430和2430-C)

最大占空比:8%,硬件限制,仅10A量程。所有其它量程为100%。
最大脉冲宽度:5ms从90%上升沿至90%下降沿,2.5ms 10A量程。
最小脉冲宽度:150μs。
最小脉冲分辨率:50μs(典型值),70μs(最大值)由系统抖动限制。
源精度:由稳定时间和源量程指标决定。
输出稳定时间0.1%:
800μs(典型值),电流源=10A至10Ω,被电压转换速率限制。
500μs(典型值),电流源=10A至1Ω,被电压转换速率限制。
输出转换速率:
电压(10Ω负载):0.25V/μs±30%在100V量程。0.08V/μs±30%在20V量程、10A量程。
电流(0Ω负载):0.25A/μs±30%在100V量程。0.08A/μs±30%在20V量程、10A量程。

注解:

1.仅2400、2410:指标对连续输出电流低于105mA有效。对高于105mA连续工作超过
1分钟,精度降低10%/35mA(高于105mA)。
2.速度=正常(1PLC)。对于0.1PLC,增加0.005%量程补偿指标,除了200mV、1A、10A量程,增加0.05%。对于0.01PLC,增加0.05%量程补偿指标,除了200mV、1A、10A量程增加0.5%。
3.当正确归零时,精度适用于2线或4线模式。
4.在脉冲模式,限制在0.1 PLC测量。

电流准确度(本地或远端感测)

型号

量程

设置分辨率

电源 1, 3准确度(1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压)

缺省测量分辨率

测量 5, 6, 7准确度 (1 年)23°C ±5°C±(% rdg. + 电压)

源/阱极限

2400, 2401

1.00000 µA

50 pA

0.035% + 600 pA

10 pA

0.029% + 300 pA

±1.05A @ ±21 V

±105 mA @ ±210 V8

10.0000 µA

500 pA

0.033% + 2 nA

100 pA

0.027% + 700 pA

100.000 µA

5 nA

0.031% + 20 nA

1 nA

0.025% + 6 nA

1.00000 mA

50 nA

0.034% + 200 nA

10 nA

0.027% + 60 nA

10.0000 mA

500 nA

0.045% + 2 µA

100 nA

0.035% + 600 nA

100.000 mA

5 µA

0.066% + 20 µA

1 µA

0.055% + 6 µA

1.00000 A2

50 µA

0.27 % + 900 µA

10 µA

0.22 % + 570 µA

2410

1.00000 µA

50 pA

0.035% + 600 pA

10 pA

0.029% + 300 pA

±1.05A @ ±21 V

±21 mA @ ±1100 V

10.0000 µA

500 pA

0.033% + 2 nA

100 pA

0.027% + 700 pA

100.000 µA

5 nA

0.031% + 20 nA

1 nA

0.025% + 6 nA

1.00000 mA

50 nA

0.034% + 200 nA

10 nA

0.027% + 60 nA

20.0000 mA

500 nA

0.045% + 4 µA

100 nA

0.035% + 1.2 µA

100.000 mA

5 µA

0.066% + 20 µA

1 µA

0.055% + 6 µA

1.00000 A2

50 µA

0.27 % + 900 µA

10 µA

0.22 % + 570 µA

2420

10.0000 µA

500 pA

0.033% + 2 nA

100 pA

0.027% + 700 pA

±3.15A @ ±21 V

±1.05 A @ ±63 V

100.000 µA

5 nA

0.031% + 20 nA

1 nA

0.025% + 6 nA

1.00000 mA

50 nA

0.034% + 200 nA

10 nA

0.027% + 60 nA

10.0000 mA

500 nA

0.045% + 2 µA

100 nA

0.035% + 600 nA

100.000 mA

5 µA

0.066% + 20 µA

1 µA

0.055% + 6 µA

1.00000 A2

50 µA

0.067% + 900 µA

10 µA

0.066% + 570 µA

3.00000 A2

50 µA

0.059% + 2.7 mA

10 µA

0.052% + 1.71 mA

2440

10.0000 µA

500 pA

0.033% + 2 nA

100 pA

0.027% + 700 pA

±5.25A @ ±10.5 V

±1.05 A @ ±42 V

100.000 µA

5 nA

0.031% + 20 nA

1 nA

0.025% + 6 nA

1.00000 mA

50 nA

0.034% + 200 nA

10 nA

0.027% + 60 nA

10.0000 mA

500 nA

0.045% + 2 µA

100 nA

0.035% + 600 nA

100.000 mA

5 µA

0.066% + 20 µA

1 µA

0.055% + 6 µA

1.00000 A

50 µA

0.067% + 900 µA

10 µA

0.060% + 570 µA

5.00000 A

50 µA

0.10 % + 5.4 mA

10 µA

0.10 % + 3.42 mA

NOTES

  1. 温度系数(0°C ~18°C & 28°C ~50°C):±(0.15×规定的准确度)/°C。

  2. 电流调整率:线路调整率:量程的0.01%。负载调整率:量程的0.01%(除了2440型 5A量程的0.05%) + 100pA。

  3. 电压极限/嵌位:双极性电压极限(嵌位)设为一个值。量程的0.1%(最小值)。

  4. 过冲:典型值<0.1%(1mA步长,RL=10kΩ,20V量程,适于2400、2410、2420、2425 、2430),(10V量程,对于2440)。

注解:

1.仅2400、2410:指标对连续输出电流低于105mA有效。对于高于105mA连续工作>1 分钟,精度降低10%/35mA(高于105mA)。
2.全工作(1A)不考虑负载至30°C(50°C对于2420和2440)。高于30°C(50°C 对于2420和2440)环境温度,降低35mA/°C并且分配35mA/Ω负载。4线模 式。对于电流阱工作在1A、3A或5A量程,最大连续功率限制在约1/2额定功率 或更低,这取决于电流,达30°C环境温度。见用户手册的功率公式计算具体 条件下允许的占空比。
3.对于阱模式,1μA~100mA量程,准确度是: 2400:±(0.15%+偏移量*4),2410、2420、2425、2430、2440:±(0.5%+偏移 量*3)。
对于1A量程,准确度是: 2400:±(1.5%+偏移量*8),2410、2420、2425、2430、2440:±(1.5%+偏移量*3)
4.10A的量程仅在脉冲模式中可以达到。限制在2.5ms脉冲宽度最大值。10%占空比 最大值。
5.速度=正常(1PLC)。对于0.1PLC,增加0.005%量程补偿指标,除了200mV、 1A、10A量程增加0.05%。对于0.01PLC,增加0.05%量程补偿指标,除了 200mV、1A、10A量程增加0.5%。
6.当正确归零时,精度适用于2线或4线模式。
7.在脉冲模式,限制在0.1 PLC测量。
8.仅2400和2400-C。

电阻测量准确度(本地或远端感测) 1, 2, 5

量程

缺省分辨率

缺省测试电流
2400, 2401, 2410

缺省测试电流
2420, 2440

标准准确度 (23°C ±5°C)1 年, ±(% rdg. + 电流)

增强准确度(23°C ±5°C)41 年, ±(%rdg.+电阻)

2400, 2401

2410

2420, 2440

2400, 2401

<0.20000 W3

Source IACC + Meas. VACC

Source IACC + Meas. VACC

Source IACC + Meas. VACC

Source IACC + Meas. VACC

2.00000 W3

10 µW

1 A

Source IACC + Meas. VACC

Source IACC + Meas. VACC

0.17% + 0.0003 W

Source IACC + Meas. VACC

20.0000 W

100 µW

100 mA

100 mA

0.10% + 0.003 W

0.11% + 0.006 W

0.10% + 0.003 W

0.07% + 0.001 W

200.000 W

1 mW

10 mA

10 mA

0.08% + 0.03 W

0.09% + 0.1 W

0.08% + 0.03 W

0.05% + 0.01 W

2.00000 kW

10 mW

1 mA

1 mA

0.07% + 0.3 W

0.08% + 0.6 W

0.07% + 0.3 W

0.05% + 0.1 W

20.0000 kW

100 mW

100 µA

100 µA

0.06% + 3 W

0.07% + 6 W

0.06% + 3 W

0.04% + 1 W

200.000 kW

1 W

10 µA

10 µA

0.07% + 30 W

0.07% + 60 W

0.07% + 30 W

0.05% + 10 W

2.00000 MW6

10 W

1 µA

1 µA

0.11% + 300 W

0.12% + 600 W

0.11% + 300 W

0.05% + 100 W

20.0000 MW7

100 W

1 µA

1 µA

0.11% + 1 kW

0.12% + 2.4 kW

0.11% + 1 kW

0.05% + 500 W

200.000 MW3

1 kW

100 nA

0.66% + 10 kW

0.66% + 24 kW

Source IACC + Meas. VACC

0.35% + 5 kW

>200.000 MW3

Source IACC + Meas. VACC

Source IACC + Meas. VACC

Source IACC + Meas. VACC

Source IACC + Meas. VACC


温度系数(0°C ~18°C & 28°C ~50°C):±(0.15×规定的准 确度)/°C。
电流源模式,手动电阻:不确定度总和=电流源准确度+电压测 量准确度(4线远端感测)。
电压源模式,手动电阻:不确定度总和=电压源准确度+电流测 量准确度(4线远端感测)。
6线电阻模式:支持使用有源电阻防护和防护感测。防护输出
电流最大值:50mA(1A量程除外)。准确度依赖于负载。计算公式请 参见第2033号白皮书。
防护输出阻抗:<0.1Ω,电阻模式。


注解

  1. 1.速度=正常(1 PLC)。对于0.1 PLC,增加0.005%量程补偿指标,除了200mV、1A、10A量程增加 0.05%。对于0.01 PLC,增加0.05%量程补偿指标,除了200mV、1A、10A量程增加0.5%。

  2. 2.当正确归零时,精度适用于2线或4线模式。

  3. 3.仅手动电阻——除了2420、2425、2430、2440用于2Ω量程以及2410或2400用于200MΩ量程。

  4. 4.激活源回读,偏移补偿开。而且2410、2420、2425、2430和2440也提供类似的精度增强。

  5. 5.在脉冲模式,限制在0.1 PLC测量。

  6. 6.除了2440;缺省测试电流是5μA。

  7. 7.除了2440;缺省测试电流是0.5μA。

系统速度

测量 1

量程变化速率最大值:75/s


自动量程测量时间最大值:40ms(固定源)。

扫描工作模式3读数速度(读数/秒)@ 60Hz(50Hz):

速度

NPLC/触发源

测量

源-测量

源-测量5通过失效测试4, 5

源-内存4

至内存

至 GPIB

至内存

至 GPIB

至内存

至 GPIB

至内存

至 GPIB

Fast

0.01 / internal

2081

(2030)

1754


1551

(1515)

1369


902

(900)

981


165

(162)

165


IEEE-488.1 Mode

0.01 / external

1239

(1200)

1254


1018

(990)

1035


830

(830)

886


163

(160)

163


Fast

0.01 / internal

2081

(2030)

1198

(1210)

1551

(1515)

1000

(900)

902

(900)

809

(840)

165

(162)

164

(162)

IEEE-488.2 Mode

0.01 / external

1239

(1200)

1079

(1050)

1018

(990)

916

(835)

830

(830)

756

(780)

163

(160)

162

(160)

Medium

0.10 / internal

510

(433)

509

(433)

470

(405)

470

(410)

389

(343)

388

(343)

133

(126)

132

(126)

IEEE-488.2 Mode

0.10 / external

438

(380)

438

(380)

409

(360)

409

(365)

374

(333)

374

(333)

131

(125)

131

(125)

标准

1.00 / internal

59

(49)

59

(49)

58

(48)

58

(48)

56

(47)

56

(47)

44

(38)

44

(38)

IEEE-488.2 Mode

1.00 / external

57

(48)

57

(48)

57

(48)

57

(47)

56

(47)

56

(47)

44

(38)

44

(38)

单读数工作模式的读速度(读数/秒)@ 60Hz(50Hz):

速度

NPLC/触发源

测量 至 GPIB

源-测量至 GPIB

源-测量通过失效测试4, 5 至 GPIB

Fast (488.1)

0.01 / internal

537


140


135


Fast (488.2)

0.01 / internal

256

(256)

79

(83)

79

(83)

Medium (488.2)

0.10 / internal

167

(166)

72

(70)

69

(70)

标准 (488.2)

1.00 / internal

49

(42)

34

(31)

35

(30)

元件@ 60Hz(50Hz)4, 6

速度

NPLC/触发源

测量 至 GPIB

源通过失效测试

源-测量通过失效测试5, 7至 GPIB

Fast

0.01 / external

1.04 ms

(1.08 ms)

0.5 ms

(0.5 ms)

4.82 ms

(5.3 ms)

Medium

0.10 / external

2.55 ms

(2.9 ms)

0.5 ms

(0.5 ms)

6.27 ms

(7.1 ms)

标准

1.00 / external

17.53 ms

(20.9 ms)

0.5 ms

(0.5 ms)

21.31 ms

(25.0 ms)

NOTES

1 读数速率可用于电压或电流测量。关闭自稳零,关闭自动量 程,关闭滤波器,关闭显示,触发延时=0,并且采用二进制读 数格式。
2 纯电阻性导线。1μA和10μA量程<65ms。
3 1000点扫描特点是在固定量程输出。
4 采用上限和数学下限进行通过/失效测试。
5 包含在做测量之前重新设置源到新电平的时间。
6 从测试开始(START OF TEST)信号的下降沿到测试结束 (END OF TEST)信号的下降沿的时间。
7 不包括命令:SOURce:VOLTage|CURRent:TRIGgered 的 处理时间。

综合说明


噪声抑制:


NPLC

NMRR

CMRR

Fast

0.01

80 dB

Medium

0.1

80 dB

Slow

1

60 dB

100 dB1

除了最低的2个电流量程=90dB。


负载阻抗:稳定至20,000pF(典型值)。
共模电压:250V直流(2440为40VDC)。
共模隔离:>109Ω,<1000pF。
过量程:量程的105%,源和测量。
输入/输出与测量端子之间的最大压降:5V。
感测线电阻最大值:1MΩ,额定准确度。
感测输入阻抗:>1010Ω。
防护偏置电压:<150μV,典型值(2430、2440的典型值为300μV)。
源输出模式:
脉冲(仅2430型)
固定直流电平
存储器列表(混合功能)
阶梯扫描(线性和对数)
内存缓冲区:5,000读数/秒@5位分辨率(2个2,500点缓冲区)。包含所选的测量值和时间戳。锂电池备份(电池寿命超过3年。)
源存储器列表:100点(最大值)。
可编程性:IEEE-488 (SCPI-1995.0),RS-232,5个用户定义的上电状态加出厂缺省设置和*RST。
数字接口:
互锁:低电平输入有效:
处理程序接口:测试开始,测试结束,3类比特。+5V@300mA电源。
数字I/O:1触发输入、4 TTL/继电器驱动输出(33V@500mA、二极管钳位)。
电源:100V-240Vrms,50Hz-60Hz(上电时自动检测)。
2400:190VA。2410:210VA。
2420:220VA。2425,2430:250VA。2440:240VA。
散热:(2410、2420、2425、2430、2440):强制空气,可变速度。
EMC:符合欧盟指令89/336/EEC,EN 61326-1。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC,EN61010-1。
振动:MIL-PRF-28800F Class 3随机振动。
预热时间:1小时达到额定精度。
规格:89mm高×213mm宽×370mm深(3 1/2 in × 8 3/8 in × 14 9/16 in)。基准配置(带把手&支脚):104mm高×238mm宽×370mm深(4 1/8 in × 9 3/8 in × 14 9/16 in)。
重量:3.21kg(7.08磅)(2425、2430、2440重量为:4.1kg,9.0磅)。
工作环境:工作条件0°~50°C,70%相对湿度至35°C。降低3% R.H./°C,35°~50°C。
存储条件:-25°C ~ 65°C。

2450型触摸屏数字源表是吉时利新一代数字源表(SMU) 仪器,它真正把欧姆定律(电流、电压和电阻)测试带到你 的指尖。其创新的图表化用户界面(GUI)和先进的电容触摸 屏技术,实现了直观使用和学习曲线简便化,支持工程师 和科学家掌握更迅速、工作更便捷、发明更简单。2450是 适用于各行各业使用者的源测量单元(SMU):这种多用途 仪器特别适合现代半导体、纳米器件和材料、有机半导体、 印刷电子技术以及其他小尺寸、低功率器件特性分析。这 些特性加上吉时利源测量单元(SMU)的精度和准确度,允 许用户触摸、测试和发明,无论现在和未来,都将成为您 实验室中爱不释手的仪器。

学习更迅速、工作更灵巧和发明更容易

同采用专用按钮和小型、昏暗、字母数位有限显示屏的传统仪器相比,2450 仪表采用5英寸全彩色高分辨率触摸屏界面,易于使用、学习和优化整体速度和效 率。简洁的图标化菜单结构能够减少近50%的设置步骤,替代了繁琐的传统按键 式、多层次的菜单结构。内建图标化的帮助功能支持直观操作,把手动翻页需求 降到最低。这些能力加上其多用途应用,2450型仪器具有天生的易用性,适用于 基础与先进测量应用,不论您使用源测量单元(SMU)仪器的经验如何。

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2450仪器主显示

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450仪器菜单

第四代一体化源测量单 元(SMU)仪器

2450型仪器是吉时利获奖数字源表源 测量单元(SMU)系列仪器的第四代成员, 基于已被证明的2400型数字源表源测量单 元(SMU)仪器的体系结构。它提供高度 灵活的4象限电压和电流源/载荷,以及精 密的电压和电流仪器。这个一体化仪器可 以用作:

  • 精密电源,具有电压和电流回读功能

  • 真正电流源

  • 数字多用表、测量直流电压、电流、电阻和功率,分辨率6½数位

  • 精密电子载荷

  • 触发控制器

图片关键词

2450仪表功率包络

2400 型2450 型
电压量程: 200mV - 200V电压量程: 20mV – 200V
电流量程:1μA - 1A电流量程:10nA – 1A
基本准确度:0.012%基本准确度:0.012%
宽带噪声:4mVrms(典型值)宽带噪声:2mVrms(典型值)
扫描类型:
线性,对数,定制源存储器
扫描类型:
线性,对数,双线性,双对数,定制源存储器(2400 SCPI模式)
读数缓存5000读数缓存>250,000
>2000读数/秒>3000读数/秒
SCPI编程2400 + 2450 SCPI + TSP编程
GPIBGPIB,USB, 以太网(LXI)
前/后面板香蕉插孔前面板:香蕉插孔,后面板:三轴

2400型与2450型仪器比较

除了触摸屏以外,易于使用

除了5英寸彩色触摸屏,2450型仪器还具有许多特性,可以增强其速度、用户 友好和学习能力,包括USB 2.0存储器I/O端口、HELP按键、旋转指引/控制按钮、 前/后面板输入选择按钮,以及适合基本测试台应用的香蕉插孔。USB 2.0存储器 端口支持便利的数据存储、保存仪器配置、装载测试脚本及系统升级。此外,前 面板所有按钮都采用背光,提高了在昏暗环境下的可见度。

图片关键词

2450型仪器前面板,包括高分辨率电容触摸屏

4种“Quickset”模式简化用户设置。轻轻一摸,仪器就可以迅速配置不同操作模 式,无需配置本次操作不需要的仪器。

全面的内建连通性

通过后面板可接入后输入三轴连接 器、程控接口(GPIB, USB 2.0, LXI / 以 太网)、D-sub 9针数字I/O端口(用于内 部/外部触发信号和夹具控制)、仪器互 锁控制以及TSP-Link®插孔,支持多部 仪器测试解决方案的轻松配置,并节省 购置其他适配器附件所需的费用。

图片关键词

Quickset模式支持快速设置,缩短测量时间

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后面板连接已为信号完整性而优化

将原始数据转化为有用信息

2450型仪器提供完全绘图和制表功能,可以在显示屏 右侧显示扫描、测量数据和绘图。它还支持将数据输出至 电子数据表,供进一步分析,并大幅提高研究、测试台测 试、器件认证和调试的效率。

图片关键词图片关键词

全部数据显示、绘图和输出至电子数据表,将原始数据转化为有用信息

典型应用

非常适合当今多种现代化电子器件的电流/电压特性 分析和功能测试,包括:

采用TriggerFlow™构建模块,适合仪器控制与执行

2450型仪器包含吉时利最新的TriggerFlow触发系统,使用户控制仪器执行情况。与开发流程图相似,TriggerFlow图是利用4个基本构建模块创建的:

图片关键词

TriggerFlow构建模块使轻松用户创建非常复杂的触发模型

TriggerFlow模型使用构建模块组合,通过前面板或发送 远程命令可以创建该模型。利用TriggerFlow系统,用户可以 利用最多255个简单或复制模块构建触发模型。2450型仪器 还包括基本触发功能,包括即时、定时器和手动触发。

无与伦比的系统集成和编程灵活性

当2450仪器作为多通道I-V测试系统的一部分进行集成 时,可通过该仪器运行嵌入脚本能力的测试脚本处理器 (TSP®)允许测试脚本,支持用户创建功能强大的测量应用, 大幅缩短开发时间。TSP技术还提供无需主机的通道扩展功 能。吉时利TSP-Link®通道扩展总线采用100 Base T以太网 电缆,可在一个主-从配置(作为一个综合系统发挥作用) 中实现多个2450型仪器以及其他TSP仪器(如吉时利2600B 系列数字源表源测量单元( SMU )仪器及3700A系列开关 /多用表系统)的连接。TSP-Link扩展总线的每个GPIB或IP 地址支持高达32个单元,因此很容易对系统进行扩展,满足 应用的具体需求。

2450仪器包括标准SCPI编程模式,可以优化仪器的新 特性;还包括2400 SCPI模式,提供与现有数字源表一起的 后向兼容能力。这不仅保护用户的2400仪器投资,而且省 去了仪器升级方面的重复工作。

并行测试能力

利用2450型仪器的TSP技术,可以对多个器件进行并行测 试,满足器件研究、先进半导体实验室应用以及高吞吐量生产 测试。这种并行测试能力支持系统中的每部仪器运行自己的完 整测试序列,创建完全多线程测试环境。在2450型仪器上并行 运行的测试数量最高可以达到系统中的仪器数量。

免费仪器控制启动软件和Web界面

KickStart是吉时利推出的最新仪器控制非编程启动软件, 可使用户在几分钟之内启动测量。在大多数情况下,用户只需 要快速测量,即可将数据绘图,并将数据存储于光盘,用于在 Excel等软件环境下进行深入分析。

  • 纳米材料与器件
    – 石墨烯
    – 碳纳米管
    – 纳米线
    – 低功耗纳米结构

  • 半导体结构
    – 晶圆
    – 薄膜

  • 有机材料与器件
    – 电子墨水
    – 印刷电子技术

  • 能量效率与照明
    – LED/AMOLED
    – 光伏/太阳电池
    – 电池

  • 分立器件与无源组件
    – 双引线: 电阻器、二极管、齐纳 二极管、LED、磁盘驱动器磁头 光驱、传感器
    – 三引线: 小信号双极节型晶体管 (BJT)、场效应晶体管 (FET),等等

  • 材料特性分析
    – 电阻率
    – 霍尔效应

    • 等待 – 等待事件发生,然后继续流程

    • 分流 – 当条件满足时即实施分流

    • 行动 – 启动仪器动作,如测量、源、延迟、设置数字I/O等

    • 通知 – 通知其他设备事件已经发生

  • KickStart软件具有以下功能:图片关键词

    利用KickStart启动软件,用户可在几分钟内做好测量准备

    采用易用仪器驱动,简化编程

    对于希望创建自己定制 的应用软件的用户,可以登录公司 网站www.keithley.com.cn,下载美国国家仪器公司LabVIEW® 驱动、IVI-C及IVI-COM驱动。

    • 履行I-V特性分析的仪器配置控制

    • 固有的X-Y绘图、平移和缩放

    • 电子数据表/表格

    • 保存和输出数据,用于进一步分析

    • 保存测试设置

    • 屏幕截图

    • 测试注释

    • 命令行对话框,用于发送和接收数据

    • HTML帮助

    • 符合GPIB、USB 2.0、以太网 标准

电压规格1,2



测量3
量 程分 辨 率准确度 (23°C ±5°C)
1 年
+/- (% 设 置 + 伏 特 )
噪声(RMS) (<10Hz)
  分辨率  输入电阻准确度 (23°C ±5°C)
1 年
+/- (% 读数 + 伏特)

20.00000 mV500nV0.100% + 200 µV1 µV
10 nV>10 GΩ0.100% + 150 μV
200.0000 mV5 µV0.015% + 200 µV1 µV
100 nV>10 GΩ0.012% + 200 µV
2.000000 V50 µV0.020% + 300 µV10 µV
1 µV>10 GΩ0.012% + 300 μV
20.00000 V500µV0.015% + 2.4 mV100µV
10 µV>10 GΩ0.015% + 1 mV
200.0000 V5 mV0.015% + 24 mV1 mV
100 µV>10 GΩ0.015% +10 mV

电流规格1,2



测量3
量 程分 辨 率准确度 (23°C ±5°C)4>
1 年
+/- (% 设 置 + 安培 )
噪声(RMS) (<10Hz)
分辨率电压负担准确度 (23°C ±5°C)
1 年
+/- (% 读数 + 安培)

10.00000 nA5500 fA0.100% + 100 pA500 fA
10 fA<100 μV0.10% +50 pA
100.0000 nA55 pA0.060% + 150 pA500 fA
100 fA<100 µV0.060% + 100 pA
1.000000 µA50 pA0.025% + 400 pA5 pA
1 pA<100 µV0.025% + 300 pA
10.00000 µA500 pA0.025% + 1.5 nA40 pA
10 pA<100 µV0.025% + 700 pA
100.0000 µA5 nA0.020% + 15 nA400 pA
100 pA<100 µV0.02% + 6 nA
1.000000 mA50 nA0.020% + 150 nA5 nA
1 nA<100 µV0.02% +60 nA
10.00000 mA500 nA0.020% + 1.5 µA40 nA
10 nA<100 µV0.02% + 600 nA
100.0000 mA5 µA0.025% + 15 µA100 nA
100 nA<100 µV0.025% + 6 µA
1.000000A50 µA0.067% + 900 µA3 µA
1 µA<100 µV0.03% + 500 µA

温度系数(0°–18°C及28°–50°C): ±(0.15 × 精度规范) /°C。

1. 速度 = 1 PLC。
2. 所有指标均为输出开启状态下指标。
3. 正确归零时,精度适用于2线和4线模式。
4. 对于阱模式,1μA~100mA量程精度是±(0.15% + 偏移*4)。对于1A量程,精度是±(1.5% + 偏移*8)。
5. 仅用于后面板三同轴连接。

电阻测量精度(本地或程控检测)2,3

量程默认分辨率6默认测试电流正常准确度
(23°C ±5°C)
1 年,+/- (%读数+欧姆)
改进准确度7
(23°C ±5°C)
1 年,+/- (%读数+欧姆)
<2.000000 Ω 81 µΩ测量IACC + 测量VACC测量IACC + 测量VACC
20.00000 Ω10 µΩ100 mA0.098% + 0.003 Ω0.073% + 0.001Ω
200.0000 Ω100 μΩ10 mA0.077% + 0.03 Ω0.053% + 0.01Ω
2.000000kΩ1 mΩ1 mA0.066% + 0.3 Ω0.045% + 0.1Ω
20.00000kΩ10 mΩ100 µA0.063% + 3 Ω0.043% + 1 Ω
200.0000kΩ100 mΩ10 µA0.065% + 30 Ω0.046% + 10Ω
2.000000 MΩ1 Ω1 µA0.11% + 300 Ω0.049% + 100Ω
20.00000 MΩ10 Ω1 µA0.11% + 1000 Ω0.052% +500Ω
200.0000 MΩ100 Ω100 nA0.655% + 10 kΩ0.349% + 5000 Ω
>200.0000 MΩ 8测量IACC + 测量VACC测量IACC + 测量VACC

温度系数(0°–18°C及28°–50°C): ±(0.15 × 精度规范) /°C。 电流源模式,手动电阻: 整体不确定性 =电流源精度 + 电压测量精度 (4线程控检测)电压元模式,手动电阻: 整体不确定性 =电压源精度 + 电流测量精度 (4线程控检测)保护输出阻抗: 0.5Ω(直流),在电阻模式。

6. 仅手动电阻。
7. 支持源回读。启用偏移补偿。
8. 保证所有规范,输出开启。

工作特性

最大输出功率:20W,4象限源或阱操作。
源限度:V: ±2 1V (≤ 1A量程), ±210V (≤ 100mA量程)
I: ±1.05A (≤ 20V量程), ±105mA (≤ 200V量程)
过量程: 105%量程,源和测量
稳压:电压: 线路: 0.01% 量程。负载: 0.01% 量程 + 100μV.
电流: 线路: 0.01%量程。负载: 0.01%量程 + 100pA.
源限度:电压源 电流限制: 利用单值设置双极电流限幅。最小值,10%量程。
电流源电压限制: 利用单值设置双极电压限幅。最小值,10%量程。
电压限幅/电流限幅准确度: 在基本规范上增加0.3%设置值±0.02%读数
电压过冲: 电压源:<0.1%典型值 (满刻度阶跃, 电阻载荷, 20V量程, 10mA电流限幅)
电流源:<0.1%典型值(1mA阶跃, R负载 = 10kΩ, 20V 量程)
量程变化过冲: 过冲进一个100kΩ的全电阻载荷,10Hz~20MHz带宽,毗邻范围: 250mV典型值。
输出建立时间:达到终值 0.1%所需的时间,20V量程,100mA电流限幅:<200μs 典型值。
最大斜率:0.2V/μs,200V量程,100mA限幅,2kΩ负载(典型值)
过压保护:用户可选择数值, 5%容限。工厂默认值 = 无。
电压源: 噪 声10H z–1MHz (有效值): 2mV典型值至电阻负载。
最大斜率:0.2V/μs.
过压保护:用户可选择数值, 5%容限。工厂默认值 = 无。
输出建立时间:达到终值 0.1%所需的时间,20V量程,100mA电流限幅:<200μs 典型值。
共模电压:250V直流
共模隔离度: >1GΩ,<1000 pF
噪声抑制(典型值):

NPLCNMRRCMRR
0.0160 dB
0.160 dB
160 dB100 dB *

* 不包括两个最低的电流量程~90dB

负载阻抗:20nF典 型值(标准)。稳定至50μF典型值 (大电容模式)。
对于≥100μA量程, ≥200mV量程,大电容模式有效。
应力和检测端之间的最大电压降: 5V
检测引线最大电阻: 1MΩ,额定精度
检测输入阻抗:>10GΩ
保护偏移电压:<300μV, 典型值

系统测量速度9

读取速度(读数/秒),60Hz (50Hz)典型值

编程脚本(TSP)


测量
源测量扫描
NPLC/触发地至内存至GPIB至USB至LAN
至内存至GPIB至USB至LAN
0.01 / 内部3130 (2800)2830 (2570)2825 (2600)2790 (2530)
1710 (1620)1620 (1540)1630 (1540)1620 (1540)
0.01 / 外 部2170 (2050)2150 (2030)2170 (2040)2160 (1990)
1670 (1590)1580 (1500)1590 (1510)1580 (1510)
0.1 / 内部540 (460)530 (450)530 (450)530 (450)
470 (410)460 (400)470 (400)470 (400)
0.1 / 外部500 (430)490 (420)500 (430)500 (430)
470 (400)460 (390)460 (400)460 (400)
1.00 / 内部59 (49)58 (49)59 (49)59 (49)
58 (49)58 (48)58 (48)58 (48)
1.00 / 外部58 (48)57 (48)58 (48)58 (48)
57 (48)57 (47)57 (48)57 (48)

SCPI编程10


测量
源测量扫描
NPLC/触发地至内存至GPIB至USB至LAN
至内存至GPIB至USB至LAN
0.01 /内部3130 (2800)3060 (2760)3000 (2790)3010 (2710)
1710 (1630)1610 (1600)1440(1380)1690 (1590)
0.01 /外部2350(2200)2320(2170)2340 (2190)2320 (2130)
1680 (1590)1560 (1570)1410(1360)1660 (1560)
0.1 /内部540 (460)540 (450)540 (460)540 (450)
470 (410)470 (410)450 (390)470 (410)
0.1 /外部510 (440)510 (430)510 (440)510 (430)
470 (400)470 (400)450 (390)470 (400)
1.00 / 内部59 (49)59 (49)59 (49)59 (49)
58 (48)58 (48)57 (48)58(48)
1.00 /外部58 (49)58 (49)58 (49)58 (49)
58 (48)58 (48)57 (47)58(48)

9. 读取速度适用于电压或电流测量、自动归零、自动量程关闭、滤掉、二进制阅读格式、源回读关闭。
10. SCPI编程模式。速度不适合SCPI 2400模式。

公共指标(默认模式, 除非特别说明)

工厂默认标准上电:SCPI 模式。
源输出模式:固定直流电平,存储器/配置清单(混合功能),
Stair (线性与对数)。
源存储清单:100点(最大值)(仅2400 SCPI模式)。
内存缓冲:>250,000读数。包括选定的测量值和时间戳。
实时时钟:锂电池备份(3年+电池寿命)。
程控接口:
GPIB: 与IEEE-488.1兼容,支持IEEE-488.2公共指令和状态 模型拓扑。
USB器件(后面板 ,B型): 2.0全速USBTMC
USB器件(前面板,A型): USB 2.0,支持闪存驱动器,FAT32
以太网: RJ-45 (10/100BT)
可编程性:SCPI或TSP指令集
TSP模式:通过任何主机接口,访问嵌入式测试脚本处理器(TSP)。
IP配置:Static或DHCP
扩展接口:TSP-Link 扩展接口允许TSP支撑仪器的触发和彼此通信。
符合LXI标准: 1.4 LXI Core 2011
显示:5英 寸电容,彩色TFT WVGA (800x480) ,LED背光源。
输入信号连接:前面板: 香蕉插孔 后面板: 三轴同轴连接(3-Lug)
互锁:有源高 输入
数字I/O接口:
线路: 用户定义的6输入/输出,用于数字I/O或触发
连接器: 9-针母D型接口
输入信号电平: 0.7 V (最大逻辑低电平), 3.7 V (最小逻辑高电平)
输入电压限幅: -0.25 V (绝对最小值), +5.25 V (绝对最大值)
最大源电流: +2.0 mA @ >2.7 V (每引脚)
最大阱电流: -50 mA @ 0.7 V (每引脚,固态熔断保护)
5 V电源引脚: 限定在500 mA @ >4V (固态熔断保护)
夹具: 用户定义测试启动、测试结束,4个类别位
制冷:强风,变速。
过温保护:内部检测到温度超载时,将使设备处于待机模式。
电源:100V~240V有效值,50–60Hz (自动检测上电)。
VA额定值:190伏安,最大值。
高度:最高海拔2000米。
电磁兼容(EMC):符合欧盟电磁兼容指令
安全:通过美国国家认可测试实验室(NRTL)UL61010-1与UL61010
-2-30认证。符合欧盟低压指令。
震动:MIL-PRF-28800F Class 3 Random。
预热:1小时至额定准确度。
尺寸:(含手柄和减震器): 106mm高 × 255mm宽 × 425mm长(4.18 in × 10.05 in × 16.75 in)。(不含手柄和减震器):88mm高× 213mm宽 × 403mm长 (3.46 in × 8.39 in × 15.87 in)。
重量:含手柄和减震器: 4.04 kg (8.9 lbs.)。不含手柄和减震器:3.58 kg (7.9 lbs.)。
环境:工作: 0°C~50°C, 70% R.H.高达35°C。在35°C~50°C,下降3% R.H./°C。存储: –25°C~65°C。
供应附件:测试引线、USB电缆、以太网/TSP电缆、互锁适配器、电源线、快速启动指南、用户手册光盘。

2460型大电流数字源表®源测量单元(SMU)仪器为 您带来先进的Touch, Test, Invent®(触摸、测试、发明) 技术。它采用创新的图形用户界面(GUI)和电容触摸屏技 术,不仅使测试直觉,而且实现学习曲线最小化,帮助工 程师和科学家更迅速学习、更聪明工作、更容易发明。 2460型仪器具有7A直流和脉冲电流能力,已为高功率材 料、器件和模块特性分析和测试而优化,如碳化硅 (SiC)、 氮化镓(GaN)、DC-DC转换器、功率MOSFET、太阳电池 和面板、LED与照明系统、电化学电池与电池组,等等。 这些新的能力加上吉时利数十年开发高精密、高精度源测 量单元(SMU)仪器的专长,使得2460型仪器成为未来 实验室和机架大电流应用的重要仪器。

主要特性:
  • 在一个紧凑仪器内集成了分析仪、 曲线追踪仪和I-V系统等多种能力, 成本更低

  • 动态范围宽,105V, 7A DC/7A 脉冲, 100W(最大值)

  • 5英寸、高分辨率、电容触摸屏图 形用户界面(GUI)

  • 基本测量准确度0.012%,6位半 数字分辨率

  • 源和阱(4象限)操作

  • 4个“Quickset”模式,用于快速设 置和测量

  • 背景敏感的帮助功能

  • 前面板输入香蕉插孔;后面板集 体输入螺丝连接

  • 2460 SCPI与TSP®脚本编程模式

  • 前面板USB 2.0存储器I/O端口, 用于传输数据、测试脚本或测试 配置

更迅速学习、更聪明工作、更容易发明

2460型仪器采用5英寸、全彩色、高分辨率触摸屏,支持直观操作,帮助 操作人员迅速熟悉仪器,优化整体速度和生产率。基于光标的简单菜单结构, 使测试配置所需步骤减少50%,而且省去软键仪器普遍使用的繁琐的多层菜单 结构。内建的背景敏感的帮助功能,支持直观操作,并把浏览单独菜单的需求 降为最少。这些特性以及2460型仪器的多功能性,简化了其在基础测量和先进 测量应用中的操作,无论用户是否具有使用源测量单元(SMU)仪器的工作经验。

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2460型仪器主界面

图片关键词

2460型仪器基于光标的菜单结构,可以帮助 新用户迅速和自信地配置测试。

一体化源测量单元(SMU)仪器

2460型仪器基于获奖的第四代 源测量单元(SMU)平台,并充分 利用已被证明的吉时利大电流源测 量单元(SMU)仪器(包括2420、 2425和2440型仪器)的能力。该仪 器可提供高度灵活的4象限电压和电 流源/负载,适合高精密电压和电流 测量。这款一体化源测量单元(SMU) 仪器可以用作:

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2460型仪器功率包络

  • 高精密电源,具有V和I回读功能

  • 真正的电流源

  • 数字多用表(数字电压计、数字电 流计、电阻计和功率计,具有6位 半分辨率)

  • 高精度电子负载

  • 触发控制器

2420/2425/2440型2460型
最大电压: 60V/100V/40V最大电压: 100V
最大电流: 3A/3A/5A最大电流: 7A
直流功率: 60W/100W/50W直流功率: 100W
宽频带噪声: 10mVrms 典型值宽频带噪声: 2mVrms 典型值
扫描类型:
线性、日志、定制、源-存储
扫描类型:
线性、日志、双线性、双日志、定制
5000 点读数缓存>250,000 点读数缓存
>2000 读数/秒>3000 读数/秒
SCPI 编程SCPI 编程 + TSP 脚本
GPIB, RS-232GPIB,USB, 以太网(LXI)
前/后面板香蕉插孔前面板:香蕉插孔
后面板:螺丝端子连接
易用性超越触摸屏

除了采用先进的触摸屏,2460型仪器的前面板还提供改进速度、用户友好性 和可学习性的诸多特性,包括USB 2.0存储器I/O端口、HELP键、旋转导航/控制 旋钮、前面板/后面板输入选择按钮、适合基本台式应用的香蕉插孔。USB 2.0存 储器端口简化存储测试结果和仪器配置,将测试脚本上传至仪器,以及安装系统 升级。前面板的所有按钮都采用背光,提高了低照环境下的可视性。

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2460型仪器的高分辨率、电容触摸屏和前面板控制允许直观操作,即使新用户也感到易用。

4种“Quickset”模式简化了一起设置。 只需轻轻一触,就可以为不同工作模式 快速配置仪器,无需为这个操作进行间 接配置。

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一触Quickset模式加速测量设置,把测量时间 降到最短。

全面的内建连接性

通过2460型仪器后面板,可以接入后面板接入螺丝端子 连接器、程控控制接口(GPIB、USB 2.0与LXI/Ethernet)、 D-sub 9插针数字I/O端口(用于内部/外部触发器信号和处理 程序控制)、仪器互锁控制以及TSP-Link®插孔,从而简化多 台仪器测试方案配置,并省去额外适配器附件的花销。

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2460型仪器后面板连接已经优化,以保持信号完整性,并加速系统设置

将原始数据转化为信息

完整的绘图窗口可以转化原始数据,并立即显示为有用 信息,如半导体I-V曲线和伏安图。使用2460型仪器的电子表 (Sheet)浏览,测试数据还可以以表格形式显示。该仪器 支持将数据输出至电子数据表,用于进一步分析,大大提高 研究、台式测试、设备资格和调试的生产率。

TriggerFlow®构建模块,适合仪器控制与执行

2460型仪器采用吉时利TriggerFlow触发系统,便于用户 对仪器执行进行控制。TriggerFlow图形的创建与流程图绘制 基本相同,它采用4个基本的构建模块:

  • 等待 – 等待一个事件的发生,然后继续流动

  • 分支 – 当条件满足时进行分支

  • 动作 – 启动仪器动作,如测量、源、延迟、设置数字I/O等

  • 通知 – 通知其他设备已发生的事件



2460-Source-Measure-Unit-2460-SMU-Instrument-Datasheet



TriggerFlow构建模块允许创建触发模型,从极简单到高度复杂的触发模型。

利用这些构建模块组合可以通过前面板构建TriggerFlow 模型,也可以通过发送程控命令进行构建。有了TriggerFlow 系统,用户可以构建各种触发模型,包括简单触发模型以及 多至255模块等级的复杂触发模型。2460型仪器还包括基本 的触发功能,如即时/定时器/手动触发。

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图片关键词图片关键词

内建数据显示、绘图和电子数据表输出功能, 很容易将测试结果转化为有用信息。

无与伦比的系统集成与编程灵活性

当2460型仪器配置为多通道I-V测试系统时,嵌入式测试 脚本处理器(TSP®)允许其运行测试脚本,因此用户可以创建 功能强大的测试应用,并大幅缩短开发时间。TSP技术还提供 无需主机的通道扩展能力。吉时利的TSP-Link®通道扩展总线 采用100 Base T以太网电缆,可以在主从配置中实现多部 2460型仪器与其他TSP仪器的连接,如吉时利2450型数字源 表源测量(SMU)单元仪器、2600B系列系统数字源表源测 量(SMU)单元仪器及3700A系列开关/多用表系统,使之作 为一个集成系统工作。每个GPIB或IP地址的TSP-Link扩展总 线支持32部设备,因此很容易扩展系统,满足具体的应用需 求。2460型仪器还包括SCPI编程模式,可以充分利用仪器的 各种能力。

并行测试能力

2460型仪器的TSP技术支持多个器件并行测试,可以满 足器件研究、先进半导体实验室应用级高吞吐生产测试需求。 这个并行测试能力允许系统中的每台仪器运行其自身的完整 测试序列,建立完全的多线程测试环境。2460型仪器可并行 运行的测试数量与系统中仪器数量相同。

免费仪器控制启动软件

2460型仪器包含KickStart仪器控制/启动软件,使用户无 需编程即可在数分钟内开始测试。在多数情况下,用户只需 进行几次快速测量,绘制数据图表,并将数据存储至磁盘, 以便日后在Excel等软件环境分析数据。KickStart软件提供以下功能:

  • 仪器配置控制,以执行I-V特性分析

  • X-Y绘图、平移和缩放

  • 通过电子数据表/表格浏览数据

  • 保存和输出数据,用于深入分析

  • 保存测试设置

  • 屏幕截图

  • 测试注释

  • 命令行输入,用于发送和接收数据

  • HTML帮助

  • GPIB、USB 2.0、以太网兼容

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KickStart启动软件让用户在几分钟内做好测量准备。

利用现成的仪器驱动程序简化编程

对于喜欢创建自己定制应用软件的人员,可以登录 www.tek.com.cn,下载美国国家仪器公司LabVIEWR以 及IVI-C和IVICOM驱动程序。

电压规格1, 2



电压源

电压测量 3

量程

最大电流

分辨率

准确度 (23° ± 5°C)1 年±(% 设置 + 伏特)

噪声 (RMS) (<10 Hz)

分辨率

输入电阻

准确度 (23° ± 5°C)1 年±(% 读数 + 伏特)

200.0000 mV

7.35 A

5 μV

0.015% + 200 µV

1 µV

100 nV

>10 GW

0.012% + 200 µV

2.000000 V

7.35 A

50 µV

0.015% + 300 µV

10 µV

1 µV

>10 GW

0.012% + 300 µV

7.000000 V

7.35 A

250 µV

0.015% + 2.4 mV

100 µV

1 µV

>10 GW

0.015% + 1 mV

10.00000 V

5.25 A

500 µV

0.015% + 2.4 mV

100 µV

10 µV

>10 GW

0.015% + 1 mV

20.00000 V

4.20 A

500 µV

0.015% + 2.4 mV

100 µV

10 µV

>10 GW

0.015% + 1 mV

100.0000 V

1.05 A

2.5 mV

0.015% + 15 mV

1 mV

100 µV

>10 GW

0.015% + 5 mV

电流规格 1, 2, 5


电压源

电压测量3

量程

最大电压

分辨率

准确度 (23° ±5°C) 41 年±(% 设置 + 安培)

噪声 (RMS) (<10 Hz)

分辨率4

输入电阻6

准确度 (23° ±5°C)1 年±(% 读数 + 安培)

1.000000 μA

105 V

50 pA

0.025% + 1 nA

40 pA

10 pA

<100 µV

0.025% + 700 pA

10.00000 μA

105 V

500 pA

0.025% + 1.5 nA

40 pA

10 pA

<100 µV

0.025% + 1 nA

100.0000 μA

105 V

5 nA

0.020% + 15 nA

100 pA

100 pA

<100 µV

0.020% + 10 nA

1.000000 mA

105 V

50 nA

0.020% + 150 nA

1 nA

1 nA

<100 µV

0.020% + 100 nA

10.00000 mA

105 V

500 nA

0.020% + 1.5 μA

10 nA

10 nA

<100 µV

0.020% + 1 μA

100.0000 mA

105 V

5 μA

0.020% + 15 μA

100 nA

100 nA

<100 µV

0.020% + 10 μA

1.000000 A

105 V

50 μA

0.050% + 750 μA

5 μA

1 μA

<100 µV

0.050% + 500 μA

4.000000 A

21 V

250 μA

0.100% + 3 mA

25 μA

1 μA

<100 µV

0.100% + 2.5 mA

5.000000 A

10.5 V

250 μA

0.100% + 3 mA

25 μA

1 μA

<100 µV

0.100% + 2.5 mA

7.000000 A

7.35 V

500 μA

0.150% + 6 mA

125 μA

1 μA

<100 µV

0.150% + 5 mA


温度系数 (0°–18°C和28°–50°C): ±(0.10 × 精度指标)/°C

  1. 速度 = 1 PLC。

  2. 所有规格都在输出开启时确保。

  3. Accuracies apply to 2- and 4-wire mode when properly zeroed.

  4. 6.5-digit 电压测量 分辨率.

  5. 6位半测量分辨率。

  6. 使用2460-KIT螺丝端子附件时确保准确度规格。

  7. 4线模式。

电阻测量精度(本地或源端测量) 1, 2, 3

量程

缺省分辨率 4

缺省测试电流

一般准确度(23°C ±5°C)1 年, ±(% 读数 + 欧姆)

增强准确度 5(23°C ±5°C)1 年, ±(% 读数 + 欧姆)

<2.000000 Ω6

1 μΩ

用户定义

电压源 IACC + 测量 VACC

测量 IACC + 测量 VACC

20.00000 Ω

10 μΩ

100 mA

0.05% + 0.003 Ω

0.04% + 0.001 Ω

200.0000 Ω

100 μΩ

10 mA

0.05% + 0.03 Ω

0.04% + 0.01 Ω

2.000000 kΩ

1 mΩ

1 mA

0.05% + 0.3 Ω

0.04% + 0.1 Ω

20.00000 kΩ

10 mΩ

100 μA

0.05% + 3 Ω

0.04% + 1 Ω

200.0000 kΩ

100 mΩ

10 μA

0.05% + 30 Ω

0.05% + 10 Ω

2.000000 mΩ

1 W

10 μA

0.06% + 100 Ω

0.06% + 50 Ω

20.00000 mΩ

10 Ω

1 μA

0.14% + 1000 Ω

0.12% + 500 Ω

>20.0000 mΩ6

User defined

电压源 IACC + 测量 VACC

测量 IACC + 测量 VACC


温度系数 (0°–18°C和28°–50°C): ±(0.10 ×精度指标)/°C


源电流、测量电阻模式:

整体不确定性 = I源准确度 + V测量准确度 (4线远端测量)


源电压、测量电阻模式:

整体不确定性= V源准确度 + I测量准确度 (4线远端测量)

  1. 速度 = 1 PLC。

  2. 所有规格都在输出开启时确保。

  3. 正确归零后,准确度适用于2线和4线模式。 10. 6位半测量分辨率。

  4. 6位半测量分辨率。

  5. 支持源回读。偏移补偿开启。

  6. 仅源电流测量电阻或源电压测量电阻。

其他特性

最大输出功率 — 100W, 4象限源或阱操作。


源限幅: — V:±7.35V (≤7A量程), ±10.5V (≤5A量程), ±21V (≤4A量程), ±105V ( ≤1A量程)
I:±7.35A (≤7V量程), ±5.25mA (≤10V量程), ±4.2A (≤20V量程), ±1.05mA (≤100V量程)


过量程 — 量程的105%,源和测量


调节 — 电压:线路:量程的0.01%,负载:量程的0.01% + 100μV。
电流:线路:量程的0.01%,负载:量程的0.01% + 100pA。


源限幅 — 电压源电流限幅:双极电流限幅设置为单一值。最小值为量程的10%。
电流源:<典型值的0.1% (1mA步长, R负载 = 10kΩ, 20V量程)。


V-限幅 / I-限幅精度 — 增量为设置的0.3%以及基本指标读数±0.02%。


过冲 — 电压源:<典型值的0.1% (满刻度步长, 电阻负载, 20V量程, 10mA I-限 幅)。
电压源:<0.1% typical (1 mA step, RLoad = 10 kΩ, 20 V 量程).


量程变化过冲 — 量程变化过冲:对100kΩ的完全电阻负载过冲, 10Hz~20MHz带宽,临近量程:<250mV,典型值。


输出建立时间 — 输出建立时间:与最终值相差0.1%所需的时间, 20V量程, 100mA I-限幅:<200μs,典型值。


最大斜率 — 最大斜率:1V/μs,100V量程,对20kΩ负载,限幅为100mA (典型值)。0.6V/μs,20V量程,对20kΩ负载, 限幅为100mA (典型值)。


过压保护 — 过压保护:用户可选择值5% ±0.5V容限。出厂缺省值=无。


电压源噪声 — 10Hz–20MHz (RMS):<4.5mV,针对电阻负载的典型值。


共模电压 — 250V DC


共模隔离 — >1G Ω,<1000 pF.


噪声抑制(典型值):

NPLC

NMRR

CMRR

0.01

60 dB

0.1

60 dB

1

60 dB

100 dB


负载阻抗 — 一般模式:20nF,典型值 。


大电容模式 — 稳定至50μF,典型值。对于≥100μA量程,大电容模式有效。


FORCE和SENSE端之间的最大电压降:5V


测量引线最大电阻 — 1MΩ,针对额定精度。


测量输入阻抗 — >10 GΩ.


保护偏移电压 —<300 µV, 典型值

系统测量速度 1

频率为60Hz (50Hz)的读取速度(读数/秒) 典型值,脚本(TSP®)可编程

NPLC

触发源

对内存测量

对GPIB/USB/LAN测量

对内存的源测量

对GPIB/USB/LAN的源测量

0.01

内部

3050 (2800)

2800 (2500)

1700 (1600)

1650 (1550)

0.01

外部

2300 (2100)

2150 (2000)

1650 (1550)

1600 (1450)

0.1

内部

540 (460)

530 (450)

470 (410)

470 (400)

0.1

外部

500 (420)

500 (420)

460 (390)

450 (350)

1.00

内部

59 (49)

59 (49)

58 (48)

58 (48)

1.00

外部

58 (48)

58 (48)

57 (48)

57 (46)

频率为60Hz (50Hz)的读取速度(读数/秒) 典型值,SCPI可编程

NPLC

触发源

对内存测量

对GPIB/USB/LAN测量

对内存的源测量

对GPIB/USB/LAN的源测量

0.01

内部

3000 (2800)

3000 (2790)

1700 (1600)

1550 (1500)

0.01

外部

2330 (2150)

2330 (2150)

1650 (1550)

1500 (1450)

0.1

内部

540 (460)

540 (460)

470 (410)

460 (400)

0.1

外部

510 (430)

510 (430)

470 (400)

460 (390)

1.00

内部

59 (49)

59 (49)

58 (48)

58 (48)

1.00

外部

58 (49)

58 (49)

58 (48)

58 (48)

Model 2461 高电流 SourceMeter® 源 测量单元 (SMU) 仪器把先进的 Touch, Test, Invent® 技术放到您的手中。它把 创新的图形用户界面(GUI)与容性触 摸屏技术结合在一起,使测试变得异 常直观,最大限度地缩短了学习周期, 帮助工程师和科学家学习更快速,工 作更明智,创造更容易。Model 2461 融合10A/1000W脉冲电流和7A/100W DC 电流功能与双 18 位 1MS/s 模数转 换器,并经过专门优化,可以检定和 测试高功率材料、器件和模块,如碳 化硅 (SiC)、氮化镓 (GaN)、DC-DC 转换器、电路保护装置、太阳能电池和电池板、 高亮度 LED 和照明系统、电化学电池和蓄电池、等等。这些新功能与吉时利在高精 度、高准确度 SMU 仪器中的专业知识相结合,使得 Model 2461 将在未来几年内成 为实验室和机架中高电流提供应用和高速测量应用的“万能仪器” 。

  • 曲线分析仪和 I-V 特性分析系统

  • 100V / 10A 脉冲功率 1000W

  • 双 1MS/s 模数转换器,支持快速 采样测量

  • 5 英寸高清容性触摸屏 GUI

  • 0.012% DCV 准确度,6½ 位分辨 率

  • 源和阱 (4 象限 ) 操作

  • 4 种“Quickset”模式,支持快速 设置和测量

  • 上下文相关帮助功能

  • 前面板输入香蕉插孔;后面板平衡 螺钉连接

  • SCPI和测试脚本处理程序(TSP®) 编程模式

  • 前面板 USB 2.0 存储 I/O 端口, 用来传送数据、测试脚本或测试配置

学习更快速,工作更智能,创造更容易

Model 2461采用5英寸全彩高清触摸屏,支持直观操作,帮助操作人员迅速熟悉 仪器,优化整体速度和生 产效率。简单的基于图 标的菜单结构使配置测试 所需的步骤数量减少达 50%,消除了软键仪器上 一般使用的烦琐的多层菜 单结构。内部上下文相关 帮助操作直观,最大限度 地减少翻阅单独手册的需 求。 这些特点与Model 2461的多功能相结合,简化了基本测量和高级测 量应用中的操作,易于使用。



2461-Source-Measure-Unit-2461-SMU-Instrument-Datasheet



Model 2461 主屏使得测试异常直观,帮助新用户把学习周期 缩到最短。



2461-Source-Measure-Unit-2461-SMU-Instrument-Datasheet



SMU基于图标的图形菜单结构帮助新用户迅速地、自信地配 置测试。

内置双 1MS/s 模数转换器,捕获待测器件特性

凭借 Model 2461 的数字化功能,捕获和显示待测器件操作、波形和瞬态波形变得 异常简便。两个内置 1MS/s、18 位模数转换器可以同时采集电压波形和电流波形, 而不需使用单独的仪器。数字化功能采用的 DC 电压和电流量程与标准模数转换器 相同。此外,电压数字化功能采用相同的 DC 电压 10GW 输入阻抗,明显降低了被 测器件 (DUT) 上的负载。



2461-Source-Measure-Unit-2461-SMU-Instrument-Datasheet



高速数字化功能可以同时捕获和显示电压测量和电流测量

全内置 SMU 仪器

作为吉时利第四代源表 SMU 的成员,Model 2461 继承和发扬原 Series 2400 源表 SMU 仪器经过验证的功能,如 Model 2420、2425、2430 和 2440。SMU 仪器提 供了高度灵活的四象限电压和电流源 / 负载以及精密电压和电流测量功能。这种全 内部仪器提供了下述仪器的功能:

  • 精密电源,带有电压和电流读数功能

  • 真实电流源

  • 数字万用表(DCV、DCI、阻抗和功率,6-1/2 分辨率 )

  • 精密电子负载

  • 脉冲发生器

  • 触发控制器

Feature

Model 2461

Models2420/2425/2440

Model 2430

最大电压

100V

60V/100V/40V

100V

最大 DC 电流

7A

3A/3A/5A

3A

最大脉冲电流

10A

NA

10A

DC/ 脉冲功率

100W/1000W

高达100W/NA

100W/1000W

模数转换器

双 18 位 1MS/s

带宽噪声

<4.5mVrms 典型值

10mVrms 典型值

10mVrms 典型值

扫描类型

线性 , 对数 , 双 线性 , 双对数 , 自定义

线性 , 对数 , 自定义 , 供电存储

线性 , 对数 , 自定义 , 供电存储

读取缓冲器容量

>2 M 点读取缓冲器

5000 点读取缓冲器

5000 点读取缓冲器

编程命令类型

SCPI 编程 +TSP 脚本

SCPI

SCPI

PC 接口

GPIB, USB, 以 太网 (LXI)

GPIB, RS-232

GPIB, RS-232

信号输入连接

前:香蕉插座
后:螺丝端子 连接

前/后 香蕉插座

前/后 香蕉插座

Model 2461 与原来的 Model 2420、2425、2430、2440 对比



2461-Source-Measure-Unit-2461-SMU-Instrument-Datasheet



2461 功率包络

简便易用,远不止是触摸屏

除了 5 英寸彩色触摸屏外,2461 图形源表前面板提供了多种功能,增强了速度、界面友好性和学习能力,包括一个 USB 2.0 存储 I/O 端口、一个 HELP 帮助键、一个旋转导航 / 控制旋钮、一个前 / 后输入选择装置按钮以及多个用于基本台式应用的香 蕉插座。USB 2.0 存储端口简化了存储测试结果和仪器配置、把测试脚本上传到仪器中以及安装系统升级程序的工作。所有前 面板按钮都带有背灯,增强了低亮度环境中的可视能力。

四种“Quickset”模式简化了仪器设置。只需轻轻触击,就可以迅速把仪器配置成各种工作模式,而不需为这种操作间接配置仪器。



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Model 2461 的高清容性触摸屏和前面板控件使操作非常直观,即使对新用户也不例外


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一触 Quickset 模式加快了测量设置速度,使测量所 需的时间达到最小



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Model 2461 后面板连接为保持信号完整性和加快系统设置而优化。

完善的内置连接功能

后面板提供了输入连接器、远程控制接口(GPIB、USB 2.0 和 LXI/ 以太网 )、D-sub 9 针数字 I/O 端口 ( 用于内部 / 外部 触发信号和处理装置控制)、仪器互锁控制和TSP-Link®插座, 可以简便地配置多个仪器测试解决方案,而不需要购买额外 的适配器附件。

把原始数据转换成信息

全图形绘图窗口把原始数据转换为有用信息,并立即显示, 如半导体I-V曲线和数字化波形。触摸屏界面支持简单的“推 拉缩放”功能,可以简便地观察、交互和考察测量数据。通 过使用内置图表光标,您无需PC就可以立即分析数据。所 有图形屏幕都可以保存到 U 盘,包含在报告或日志中。通过 使用图形 SMU 的 Sheet 视图,还可 以以表格方式显示测试数据。仪器 支持把数据导出到电子表格中,进 一步进行分析,明显改善科研、平 台测试、器件质检和调试的生产效 率。高性能与高度易用性相结合, 可以以前所未有的方式查看测试结果。

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多种内置功能如实时图表、绘图、类似示波器的光标及用于导出的数据显示电子表格,可以简便地 把测试结果转换成有用信息。

典型应用

特别适合对当前现代电子和器件执 行电流/电压(I-V)检定和功能测 试,包括:

  • 功率半导体和材料

  • SiC,GaN

  • IGBTs,功率 MOSFETs

  • HBLED

  • 晶闸管

  • 功率管理保护装置

  • 电信功率管理芯片组

  • DC-DC 转换器

  • 金属氧化物可变电阻器(MOV), 瞬态电压抑制器 (TVS)

  • 电化学

  • 电流循环

  • 循环伏安法

  • 电淀积

Model 2461 采用吉时利 TriggerFlow 触发系统,用户可以控 制仪器执行。TriggerFlow 对话框的创建方式在很大程度上与 流程图开发方式一致,都采用了四个基础构件类型:

  • 等待 - 等待事件发生后继续执行流程

  • 分支 - 在满足条件时执行分支

  • 操作 - 在仪器中发起操作,如测量、供电、延迟、设置数 字 I/O、等等

  • 通知 - 通知其他设备发生了事件

可以从前面板或通过发送远程命令,综合使用这些构件创 建 TriggerFlow 模型。通过 TriggerFlow 系统,用户可以使 用最多 255 个模块构建从异常简单到异常复杂的触发模型。 Model 2461 还包括基本触发功能,如直接触发、定时器触发 和手动触发。


泰克Keithley 2400 SourceMeter SMU 仪器

2461-Source-Measure-Unit-2461-SMU-Instrument-Datasheet



TriggerFlow 构件可以创建从异常简单到异常复杂的各种触发模型

接触检查功能

接触检查功能可以在开始自动测试序列前,迅速简便地检验 连接是否正确,消除与接触疲劳、中断、杂质、连接松开或 断开、中继器故障等有关的测量误差和误判。其中部分功能 包括:

  • <100μs 检验和通知处理时间

  • 3 种测试通过 / 失败阈值: 2Ω, 15Ω和50Ω

  • 通过 GPIB、USB 或以太网 (LXI) 接口远程实现

无可比拟的系统集成度和编程灵活性

在Model 2461配置成多通道I-V测试系统时,其嵌入式测 试脚本处理程序 (TSP®) 可以运行测试脚本,因此用户可以用 明显更少的开发时间创建强大的测量应用。TSP 技术还提供 了通道扩展功能,而无需主机。吉时利 TSP-Link® 通道扩展 总线采用100 Base T以太网电缆,可以按主从配置连接多 台图形源表 SMUs (Model 2450, 2460, 2461) 及其他 TSP 仪 器,如吉时利 Model DMM7510 7-1/2 位图形采样万用表、 Series 2600B 系统源表 SMU 仪器和 Series 3700A 交换机 / 多表系统,并作为一个综合系统操作。TSP-Link 扩展总线每 个GPIB或IP地址支持最多32台仪器,可以简便地实现系 统扩容,满足应用的特定要求。Model 2461 还包括 SCPI 编 程模式,可以全面利用仪器的所有功能。

并行测试功能

Model 2461中的TSP技术支持并行测试多个器件,满足器 件科研、高级半导体实验室应用、甚至高吞吐量生产测试的 需求。这种并行测试功能允许系统中每台仪器运行自己的整 个测试序列,创建完全多线程的测试环境。图形化源表上可 以并行运行的测试线程数量与系统中的仪器数量一致。

免费仪器控制启动软件

KickStart 仪器控制 / 启动软件适用于 Model 2461,用户无需编程,就可以在几分 钟内开始获取测量数据。在大多数情况下,用户只需进行某些快速测量,就可以绘 制数据图表,把数据存储到磁盘中,以后在 Excel 等软件环境中进行分析。KickStart 提供了:

  • 仪器配置控制功能,执行 I-V 特性分析

  • 原生 X-Y 图表、卷动和缩放功能

  • 数据的电子表格 / 表格视图

  • 保存和导出数据,进一步进行分析

  • 保存测试设置

  • 图表截屏

  • 测试注释

  • 发送和接收数据的命令行对话框

  • HTML 帮助

  • GPIB、USB 2.0、以太网一致性测试



2461-Source-Measure-Unit-2461-SMU-Instrument-Datasheet



通过 KickStart 启动软件,用户可以在几分钟内获得测量数据

随时可以使用的仪器驱动程序,简化编程工作

电压指标 1, 2

分辨率




供电


 测量 3

量程

最大 DC 电流


分辨率

准确度 (23°±5℃ ), 1 年 ±(% 设置 + 电压 )

噪声 (RMS) (<10Hz)


分辨率 4

准确度 (23°±5℃ ), 1 年 ±(% 读数 + 电压 )

模数转换器准确度 5 23°±5℃ , 1 周 ± (% 读数 + 电压 )

200.0000 mV

7.35 A


5 μV

0.015 % + 200 µV

1 µV


100 nV

0.012 % + 200 µV

0.05 % + 1.2 mV

2.000000 V

7.35 A


50 µV

0.015 % + 300 µV

2 µV


1 µV

0.012 % + 300 µV

0.05 % + 1.2 mV

7.000000 V

7.35 A


250 µV

0.015 % + 2.4 mV

20 µV


1 µV

0.015 % + 1 mV

0.05 % + 8 mV

10.00000 V

5.25 A


250 µV

0.015 % + 2.4 mV

20 µV


10 µV

0.015 % + 1 mV

0.05 % + 8 mV

20.00000 V

4.20 A


500 µV

0.015 % + 2.4 mV

20 µV


10 µV

0.015 % + 1 mV

0.05 % + 8 mV

100.0000 V

1.05 A


2.5 mV

0.015 % + 15 mV

200 µV


100 µV

0.015 % + 5 mV

0.05 % + 40 mV

测量输入电阻:>10GW,所有量程。
温度系数:±(0.10 × 准确度指标 )/℃,0° ~ 18℃和 28° ~ 50℃。

电流指标 1, 2, 6




供电


 测量 3

量程

最大 DC 电流


分辨率

准确度 (23°±5℃ ), 1 年 ±(% 设置 + 电压 )

噪声 (RMS) (<10Hz)


分辨率4

准确度 (23°±5℃ ), 1 年 ±(% 读数 + 电压 )

模数转换器准确度 5 23°±5℃ , 1 周 ± (% 读数 + 电压 )

1.000000 μA

105 V


50 pA

0.025 % + 1 nA

40 pA


1 pA

0.025 % + 700 pA

0.05 % + 4 nA

10.00000 μA

105 V


500 pA

0.025 % + 1.5 nA

40 pA


10 pA

0.025 % + 1 nA

0.05 % + 8 nA

100.0000 μA

105 V


5 nA

0.020 % + 15 nA

100 pA


100 pA

0.020 % + 10 nA

0.05 % + 80 nA

1.000000 mA

105 V


50 nA

0.020 % + 150 nA

1 nA


1 nA

0.020 % + 100 nA

0.05 % + 800 nA

10.00000 mA

105 V


500 nA

0.020 % + 1.5 μA

10 nA


10 nA

0.020 % + 1 μA

0.05 % + 8 μA

100.0000 mA

105 V


5 μA

0.020 % + 15 μA

100 nA


100 nA

0.020 % + 10 μA

0.05 % + 80 μA

1.000000 A

105 V


50 μA

0.050 % + 750 μA

5 μA


1 μA

0.050 % + 500 μA

0.05 % + 1 mA

4.000000 A

21 V


250 μA

0.100 % + 3 mA

25 μA


1 μA

0.100 % + 2.5 mA

0.10 % + 5 mA

5.000000 A

10.5 V


250 μA

0.100 % + 3 mA

25 μA


1 μA

0.100 % + 2.5 mA

0.10 % + 5 mA

7.000000 A

7.35 V


500 μA

0.150 % + 6 mA

125 μA


1 μA

0.150 % + 5 mA

0.15 % + 10 mA

10.00000 A 7

7.35 V


500 μA

0.150 % + 6 mA

125 μA


10 μA

0.150 % + 5 mA

0.15 % + 10 mA

输入端压降 8:<100mV,所有量程。

温度系数:±(0.10 × 准确度指标 )/℃,0° ~ 18℃和 28° ~ 5℃。

1. 速度 = 1 PLC。
2. 所有指标均为输出打开时有保障的指标。
3. 在正确清零时,准确度适用于 2 线和 4 线模式。
4. 6.5 位测量分辨率。模数转换器的分辨率受到噪声限制。
5. 18 位 ADC。1ms 间隔平均获得 1000 个样点。内部温度在 ±5℃以内,ACAL 一周。
6. 在使用 Model 2461 的 Model 2460-KIT 螺丝端子附件时有保障的准确度指标。
7. 10A 量程 DC 指标最高适用于 7.35A。>7.35A 的操作只适用于脉冲模式。适用于脉冲宽度和占空比极限。如需进一步了解脉冲操作,请参阅脉冲指标和典型脉冲性能部分。
8. 4 线模式。

 

电阻测量准确度 ( 本地或远程传感 ) 9, 10, 11

量程

分辨率 12

默认测试电流

正确准确度 (23℃ ±5℃ ), 1年 ±(%读数+阻抗)

增强准确度 13(23℃ ±5℃ ), 1年±(%读数+阻抗)

<2.000000 W14

1 μW

 用户自定义

源 IACC +  测量 VACC

 测量  IACC +  测量  VACC

2.000000 W

1 μW

100 mA

0.05 % + 0.003 Ω

0.04 % + 0.001 Ω

20.00000 W

10 μW

100 mA

0.05 % + 0.003 Ω

0.04 % + 0.001 Ω

200.0000 W

100 μW

10 mA

0.05 % + 0.03 Ω

0.04 % + 0.01 Ω

2.000000 kW

1 mW

1 mA

0.05 % + 0.3 Ω

0.04 % + 0.1 Ω

20.00000 kW

10 mW

100 μA

0.05 % + 3 Ω

0.04 % + 1 Ω

200.0000 kW

100 mW

10 μA

0.05 % + 30 Ω

0.05 % + 10 Ω

2.000000 MW

1 W

10 μA

0.06 % + 100 Ω

0.06 % + 50 Ω

20.00000 MW

10 W

1 μA

0.14 % + 1 kΩ

0.12 % + 500 Ω

200.0000 MW

100 W

100 nA

1.04 % + 10 kΩ

0.74 % + 5 kΩ

>200.0000 MW14

 用户自定义

源IACC + 测量 VACC

测量 IACC + 测量 VACC

提供电流、测量电阻模式:总不确定度 = 电流 提供准确度 + 电压测量准确度 (4 线远程传 感 )。

温度系数 (0° -18℃和 28° -50℃ ):±(0.10 × 精度指标 )/℃。

9. 速度 = 1 PLC。
10. 所有指标均为输出打开时有保障的指标。
11. 在正确清零时,准确度适用于 2 线和 4 线模式。
12. 6.5 位测量分辨率。
13. 启用供电读数功能。偏置补偿打开。
14. 仅提供电流、测量电阻或提供电压、测量电阻

其他脉冲模式输出指标

最小可编程脉冲宽度:150ms。
注:稳定和 / 或测量时间可能 会长于 150ms。
最大扩展范围脉冲宽度:7A 及以下量程为 2.5ms,10A 量程 为 1ms。
最大 DC 脉冲宽度:10,000 秒。
脉冲宽度编程分辨率:可变,受到脉冲宽度和脉冲宽度抖动 限制。
脉冲宽度抖动:<(50ms + 脉冲宽度的 10%),典型值, Acquire Readings = OFF。
最大脉冲占空比:20V及以下量程为10%,100V量程为5%。

典型脉冲性能 ( 最佳固定量程,4W 连接 )

 

源值

极限范围 和极限值

负载

上升时间 (10%-90%)

稳定时间 ( 量程的 1%)

100 V

10.5 A

10 Ω

300 μs

520 μs

100 V

1.05 A

200 Ω

180 μs

320 μs

20 V

10 A

2 Ω

150 μs

340 μs

10 A

105 V

10 Ω

300 μs

700 μs

7 A

7.35 V

1 Ω

120 μs

360 μs

5 A

10.5 V

2 Ω

110 μs

280 μs

接触检查

接触检查速度:检验和通知<100ms

电阻设置

2 Ω

15 Ω

50 Ω

未接触检查失败

<1.0 Ω

<10.0 Ω

<40.0 Ω

一直接触检查失败

>6.0 Ω

>20.0 Ω

>60.0 Ω

模数转换器特点

最大分辨率 : 18 位。
提供的测量功能:电压测量,电流测量,同时测量电压和电流, 电阻测量,功率测量。
采样率 15:可编程,1000~1M 样点 / 秒。
易失性采样存储器,带时间标记:27.5 M。
最小记录时间:1ms。
时间标记分辨率:标准或全存储模式1ns,紧凑存储模式 1ms。
最大记录长度:5 M。
量程选择:模数转换器测量要求固定量程。
测量稳定时间:取决于量程和负载。
对10mA及以下电流范围, 准确度受到稳定时间限制。

补充特点

最大输出功率:1050W 脉冲,105W DC,四象限供电和接 收操作。
过量程:量程的 105%,供电和测量。 稳定:电压:工频:量程的 0.01%。
负载:量程的 0.01% + 100mV。 电流:工频:量程的 0.01%。
负载:量程的 0.01% + 100pA。
供电极限: 电压源电流极限:双极电流极限用一个值设置,最低为量程 的 10%。
电流源电压极限:双极电压极限用一个值设置,最低为量程 的 10%。
V/I极限准确度:在基本指标中增加读数的 0.3% 和 ± 读数 的 0.02%。
过冲: 电压供电:<0.1% 典型值。
步长 = 满刻度,阻性负载,20V 量程,10mA 电流极限 )。
电流供电:<0.1% 典型值。
步长 = 1mA 步进,阻性负载 = 10kW,20V 量程 )
量程变化过冲:过冲到全阻性 100kW 负载,10Hz ~ 20MHz 带宽,相邻量程:<250mV 典型值。
输出稳定时间:要求时间达到最终值的0.1%以内:20 V量程, 100 mA 电流极限:<200ms 典型值。
最大转换速率 : 1V/ms,100V 量程, 100mA 极限,20kW 负 载(典型值)。
0.6V/ms,20V量程,100mA极限,20kW负载(典 型值 )。
过压保护:用户可以选择值,5% ±0.5V 容限。
出厂默认值 为“none“( 无 )。
电压供电噪声:10Hz ~ 20MHz (RMS):<4.5mV 典型值,阻 性负载。
共模电压:250V DC。
共模隔离度:>1GW,<1000pF。 噪声抑制 ( 典型值 ):

NPLC

NMRR

CMRR

0.01

60 dB

0.1

60 dB

1

60 dB

100 dB

负载阻抗 : 普通模式:
20nF 典型值。
高电容模式:稳定到50μF典型值。
高电容模式适用于 ≥ 100μA 量程。
Force 端与 Sense 端之间最大电压:5V。
输出线上压降:1V。
最大线上电阻:对额定准确度为 1MW。
Sense 输入阻抗:>10GW。
保护偏置电压:<300mV 典型值。

系统测量速度16

60Hz (50Hz)、脚本 (TSP®) 编程的读取速率(每秒读数)。  

NPLC

触发原点

测量到存储

测量到 GPIB/ USB/LAN

源、测量 到存储

源、测量到 GPIB/USB/LAN

0.01 NPLC

内部

3050 (2800)

2800 (2500)

1700 (1600)

1650 (1550)

0.01 NPLC

外部

2300 (2100)

2150 (2000)

1650 (1550)

1600 (1450)

0.1 NPLC

内部

540 (460)

530 (450)

470 (410)

470 (400)

0.1 NPLC

外部

500 (420)

500 (420)

460 (390)

450 (350)

1 NPLC

内部

59 (49)

59 (49)

58 (48)

58 (48)

1 NPLC

外部

58 (48)

58 (48)

57 (48)

57 (46)

模数转换,典型值

采样率

分辨率, 位

测量到 USB

10 kS/s

18

Up to 10 kS/s

20 kS/s

16

Up to 20 kS/s

50 kS/s

16

Up to 50 kS/s

100 kS/s

15

Up to 100 kS/s

1 MS/s

12

At least 100 kS/s

SCPI 编程,缓冲器为紧凑式

60Hz (50Hz)、SCPI 编程的读取速率(每秒读数)

NPLC

触发原点

测量到存储

测量到 GPIB/ USB/LAN

源、测量 到存储

源、测量到 GPIB/USB/LAN

0.01 NPLC

内部

3000 (2800)

3000 (2790)

1700 (1600)

1550 (1500)

0.01 NPLC

外部

2330 (2150)

2330 (2150)

1650 (1550)

1500 (1450)

0.1 NPLC

内部

540 (460)

540 (460)

470 (410)

460 (400)

0.1 NPLC

外部

510 (430)

510 (430)

470 (400)

460 (390)

1 NPLC

内部

59 (49)

59 (49)

58 (48)

58 (48)

1 NPLC

外部

58 (49)

58 (49)

58 (48)

58 (48)

16. 读取速率适用于电压或电流测量、自动清零关、自动量程关、滤波关、二进制读数格式和供电读数关

整体特点 ( 除另外指明外,均为默认模式 )

出厂默认标准开机:SCPI 模式。
源输出模式:固定DC电平,存储/配置列表(混合功能),扫描(线 性和对数 ),扫描 ( 双线性和双对数 )。
存储缓冲器:>2 M读数,用户可以调节。
包括选定实测值和时间 标记。
实时时钟:锂电池备份 (3 年 + 电池寿命 )。
远程接口: GPIB:IEEE-488.2。
USB 设备 ( 后面板,B 型 ):2.0 全速 USBTMC。
USB 设备 ( 前面板,A 型 ):USB 2.0,支持 U 盘。
以太网 : RJ-45 (10/100BT)。
数字 I/O 接口: 线路:6 个输入 / 输出,用户自定义。
用于数字 I/O 或触发。 连接器:9 针插孔 D。
输入信号电平:0.7V ( 最大逻辑值低 ),3.7V ( 最小逻辑值高 )。
输入电压极限:-0.25V (绝对最小值),+5.25V (绝对最大值)。
最大供电电流:+2.0mA @ >2.7V ( 每针 )。
最大接收电流:-50mA @ 0.7V ( 每针,固态保险保护 )。
5V 电源引脚:限于 500mA @ >4V ( 固态保险保护 )。
处理器接口:测试开始,测试结束,4 种分类位。
编程能力:SCPI 或 TSP 命令集。
TSP 模式:可以从任何主机接口访问嵌入式测试脚本处理程序 (TSP)。
IP 配置:静态或 DHCP。
扩展接口:TSP-Link扩展接口使支持TSP的仪器能够触发及相互 通信。
源输出模式:固定DC电平,存储/配置列表(混合功能),扫描(线 性和对数 ),扫描 ( 双线性和双对数 )。
存储缓冲器:>2 M读数,用户可以调节。
包括选定实测值和时间 标记。
实时时钟:锂电池备份 (3 年 + 电池寿命 )。
远程接口: GPIB:IEEE-488.2。
USB 设备 ( 后面板,B 型 ):2.0 全速 USBTMC。
USB 设备 ( 前面板,A 型 ):USB 2.0,支持 U 盘。
以太网 : RJ-45 (10/100BT)。
数字 I/O 接口: 线路:6 个输入 / 输出,用户自定义。
用于数字 I/O 或触发。 连接器:9 针插孔 D。
输入信号电平:0.7V ( 最大逻辑值低 ),3.7V ( 最小逻辑值高 )。
输入电压极限:-0.25V (绝对最小值),+5.25V (绝对最大值)。
最大供电电流:+2.0mA @ >2.7V ( 每针 )。
最大接收电流:-50mA @ 0.7V ( 每针,固态保险保护 )。
5V 电源引脚:限于 500mA @ >4V ( 固态保险保护 )。
处理器接口:测试开始,测试结束,4 种分类位。
编程能力:SCPI 或 TSP 命令集。
TSP 模式:可以从任何主机接口访问嵌入式测试脚本处理程序 (TSP)。 IP 配置:静态或 DHCP。
扩展接口:TSP-Link扩展接口使支持TSP的仪器能够触发及相互 通信。
LXI 标准:1.4 LXI Core 2011。
显示器:5 英寸容性触摸屏彩色 TFT WVGA (800×480),带有 LED 背灯。
输入信号连接:前面:香蕉。
后面:螺丝端子。 互锁:有源高输入。
冷却:强制通风,变速。
过热保护:内部传感到温度过载时会把仪器置于待机模式。
电源:100V ~ 240V RMS,50-60Hz ( 开机自检 )。
VA 额定值:最大 350 VA。
高度:最高海拔 2000 米 (6562 英尺 )。
EMC:满足欧盟 EMC 指令。
安全:满足 CE 和 NRTL 的 UL61010-1 和 UL61010-2-30 清单。
满足欧盟低压指令。
振动:MIL-PRF-28800F Class 3 随机振动。
预热:预热一小时达到额定准确度。
外观尺寸: 含把手和保险杠时:106mm 高 × 255mm 宽 × 425mm 深 (4.18 英寸 × 10.05 英寸 × 16.75 英寸 )。
不含把手和保险杠时:88mm 高 × 213mm 宽 × 397mm 深 (3.46 英寸 × 8.39 英寸 × 15.63 英寸 )。
重量:含保险杠和把手时:4.75 公斤 (10.5 磅 )。
不含保险杠和把手时:4.55 公斤 (10.0 磅 )。
环境:工作时:0°-50℃, 70%相对湿度,最高35℃。
相对湿度 额定值每℃下降3%,35°-50℃,无冷凝。
贮存时:-25℃- 65℃。

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